ÄÜÅÃÆ®·»Á ´õ¿í ¾ÈÀüÇÏ°í ¿À·¡ Âø¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï µ½´Â Ç×±Õ ³ª³ëÄÚÆÃ ±â¼úÀÌ °³¹ßµÆ´Ù.

¿¬¼¼´ëÇб³ Àǰú´ëÇÐ ¿ëÀμ¼ºê¶õ½ºº´¿ø(º´¿øÀå ±èÀº°æ) ¾È°ú Áö¿ë¿ì ±³¼ö¡¤¹®Ã¤Àº ¹Ú»çÈÄ¿¬±¸¿ø ¿¬±¸ÆÀÀº ÃÖ±Ù ÄÜÅÃÆ®·»Áî Ç¥¸é¿¡ Àû¿ëÇÏ´Â Åõ¸í ³ª³ëÄÚÆÃ ±â¼úÀ» °³¹ßÇϰí Çâ»óµÈ Ç×±Õ ¼º´É°ú ³»±¸¼º ¹× ºñµ¶¼ºÀ» ÀÔÁõÇß´Ù.
º» ¿¬±¸´Â ¿ëÀμ¼ºê¶õ½ºº´¿ø ¾È°ú¸¦ ºñ·ÔÇØ Çѱ¹°úÇбâ¼ú¿ø(KAIST) »ý¸íÈÇаøÇаú ÀÓ¼º°© ±³¼ö, ±â´É¼º ¹Ú¸· ¿¬±¸½Ç ¹Ú³ªÇö¡¤¼ÛÀ±¼º ¿¬±¸¿ø°ú ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø À̰æ±Õ ¹Ú»çÀÇ °øµ¿ ¿¬±¸·Î ÁøÇàµÆ´Ù.
ÄÜÅÃÆ®·»Á Àå½Ã°£ Âø¿ëÇÏ¸é ¼¼±ÕÀÌ ·»Áî Ç¥¸é¿¡ ½±°Ô ºÎÂøÇÏ°í ¹ø½ÄÇÒ ¼ö Àִ ȯ°æÀÌ ¸¸µé¾îÁø´Ù. ÀÌ´Â ¼¼±Õ¼º °¢¸·¿°°ú °°Àº °¨¿° À§ÇèÀ» Å©°Ô ³ôÀÌ°í ¿µ±¸ÀûÀÎ ½Ã·Â »ó½Ç·Î±îÁö À̾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó Ç×±Õ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵǰųª ÄÚÆÃ ÀÚü°¡ µ¶¼ºÀ» ¶ì´Â ±âÁ¸ Ç×±Õ ÄÚÆÃ ±â¼úÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ »õ·Î¿î Åõ¸í ³ª³ëÄÚÆÃ ±â¼úÀ» °³¹ßÇϰíÀÚ Çß´Ù.
¿¬±¸¿¡¼´Â Àå±âÀûÀ¸·Î ÈÇÐÀû ¾ÈÁ¤¼º°ú ±â°èÀû ³»±¸¼ºÀ» °®Ãá Ç×±Õ ¹× ºñµ¶¼º °øÁßÇÕü Çʸ§À» Á¦ÀÛÇØ ÄÜÅÃÆ®·»Áî Ç¥¸é¿¡ Á÷Á¢ Àû¿ëÇß´Ù. ÀÌ °úÁ¤¿¡¼´Â ±â»ó °íºÐÀÚ ÁõÂø °øÁ¤(initiated chemical vapor deposition, iCVD)À» »ç¿ëÇØ ±âÁ¸ ¾×»ó ÄÚÆÃ ¹æ½ÄÀÇ ºñ±ÕÀÏÇÑ ÄÚÆÃ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϰí, ÄÜÅÃÆ®·»ÁîÀÇ Åõ¸í¼ºÀ» È¿°úÀûÀ¸·Î À¯ÁöÇß´Ù.
À̾î Ȳ»öÆ÷µµ»ó±¸±Õ, ¸ÞƼ½Ç¸° ³»¼º Ȳ»öÆ÷µµ»ó±¸±Õ, ³ì³ó±Õ µî ¼¼±Õ¼º °¢¸·¿°ÀÇ ÁÖ¿ä ¿øÀαտ¡ ´ëÇÑ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» ½ÃÇèÇß´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº 9ÁÖ°£ Ç×±Õ ¼º´ÉÀÌ À¯ÁöµÇ´ÂÁö »ìÇǰí, ¹°¸®Àû ³»±¸¼ºµµ °ËÁõÇß´Ù.
¿¬±¸ °á°ú, Åõ¸í ³ª³ëÄÚÆÃÀº 99% ÀÌ»óÀÇ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» º¸¿´°í, 9ÁÖ°£ À̸¦ À¯ÁöÇß´Ù. ÄÚÆÃÀº ¹Ýº¹ÀûÀÎ ¼¼Ã´ ÈÄ¿¡µµ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» ÀÒÁö ¾Ê¾ÒÀ¸¸ç, ÄÜÅÃÆ®·»ÁîÀÇ Åõ¸í¼º°ú ½Ã·Â ±³Á¤ ±â´É¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡Áö ¾Ê¾Ò´Ù. ¶ÇÇÑ, ´« °Ç°¿¡ ÇØ¸¦ ³¢Ä¡Áö ¾Ê´Â ºñµ¶¼ºÀÎ Á¡µµ È®ÀÎÇß´Ù.

¡ã ±â»ó °íºÐÀÚ ÁõÂø °øÁ¤(iCVD)À» ÀÌ¿ëÇÑ ÄÜÅÃÆ®·»Áî ÄÚÆÃ °úÁ¤À» ³ªÅ¸³½ ±×¸²(a), »õ·Î °³¹ßÇÑ Ç×±Õ ÄÚÆÃ°ú ±âÁ¸ ÄÚÆÃÀÇ Ç×±Õ È¿À² Áö¼Ó¼ºÀ» ºñ±³ÇÑ ±×·¡ÇÁ·Î, »õ·Î °³¹ßÇÑ ÄÚÆÃÀÌ ÃÖ´ë 9ÁÖ±îÁö ³ôÀº Ç×±Õ·ÂÀ» À¯ÁöÇÑ´Ù.(b)
À̹ø ¿¬±¸´Â ¼¼Ã´ ½Ã Ç×±Õ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵǴ ±âÁ¸ ÄÚÆÃ ±â¼úÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹Çß´Ù´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù. ƯÈ÷, ¸ÞƼ½Ç¸° ³»¼º Ȳ»öÆ÷µµ»ó±¸±Õ°ú °°Àº Ç×»ýÁ¦ ³»¼º±Õ¿¡ ´ëÇÑ Ç×±Õ ¼º´ÉÀ» ÀÔÁõÇÏ¸ç ¼¼±Õ¼º °¢¸·¿° µî Ä¡¸íÀû ÁúȯÀ» ¿¹¹æÇÏ´Â µ¥ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
Áö¿ë¿ì ±³¼ö´Â ¡°À̹ø ¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ ÄÜÅÃÆ®·»Áî »ç¿ëÀÚÀÇ ¾ÈÀü¼ºÀ» Å©°Ô Çâ»óÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀû µµ¾àÀ» ÀÌ·ð´Ù¡±¶ó¸ç ¡°ÇâÈÄ ÄÜÅÃÆ®·»Áî°¡ ¾Æ´Ñ ´Ù¸¥ ÀÇ·á±â±â³ª ºÐ¾ß¿¡¼ ÀÌ ±â¼úÀ» È®Àå Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇϸç, °ü·Ã ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇÒ °èȹ¡±À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
¿¬±¸ °á°ú´Â ³ª³ë±â¼ú ºÐ¾ß ±¹Á¦ Àú¸í ÇмúÁöÀÎ ¡®Small(IF 13.0)¡¯¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.
ÇÑÆí, À̹ø ¿¬±¸´Â ³ª³ëÁ¾ÇÕ±â¼ú¿ø(¹ÝµµÃ¼°øÁ¤±â¹Ý ³ª³ë¸ÞµðÄà µð¹ÙÀ̽º °³¹ß»ç¾÷), °úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎÀÇ Àç¿øÀ¸·Î °úÇбâ¼ú»ç¾÷ÈÁøÈï¿ø(µö»çÀ̾𽺠â¾÷ Ȱ¼ºÈ Áö¿ø»ç¾÷), Çѱ¹¿¬±¸Àç´ÜÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ¼öÇàµÆ´Ù.